補充一下

1，

半導體廠商在製程及生產技術上強弱之間的差距，以「黃光微影製程技術」的突破最為重要。

隨著半導體工業邁向更大晶圓尺寸、更高密度、更嚴苛生產環境，引進先進的材料和技術成為產業發展的重要關鍵。

因EUV波長太短，現無光學材料可以折射EUV，故光學系統設計為反射式，包括光罩本身也是反射式。

光罩基材必須是超低熱膨脹係數材料，並且光罩表面平坦度(Ra)必須小於5個奈米(<5nm)，

由於光罩材料和製作是屬於高難度，所以估計一片量產的EUV光罩至少USD$150,000。

由於EUV光罩屬於高單價產品，且無法貼上傳統的保護膜(Pellicle)防止微粒污染，故一定需要特殊設計的光罩盒保護。

EUVL光罩載具包含內盒和外盒，內盒可以代替光罩保護膜，防止微粒污染，及真空和大氣間傳遞光罩的載具。

家登某資深工程師解釋，EUV光罩盒在業界的別名是Dual box。

因為EUV生產環境要求的潔淨度極高。

傳統光罩盒僅一個盒子，

EUV光罩盒則分為內盒和外盒，

進入EUV微影機台時，

會自動把外盒打開、把不鏽鋼製的內盒輸送進去。

英特格也生產EUV光罩盒，但台積少有下單。

英特格可是全球知名半導體設備商，產品線琳瑯滿目，包括化學品、儲存桶都提供。

英特格2019年台灣營收佔英特格總營收比重近兩成，

居全球第二，兩年前一度為全球第一大。

且台積訂單占英特格總營收高達12%，

穩住台灣市場和台積訂單的重要性不言而喻。

2，

家登5月12日宣布，

將以6.6億元價格處分台南市新市區不動產予台積電，

而處分利益預估為5.18億元，

處分資金將優先使用於因遷廠及產能重建的相關費用，以及未來之相關公司規劃。

本次的處分收益，扣除所有成本後，

法人圈預估，

約可挹注家登今年第二季每股淨利約5元。

但這背後是有故事，

這是近年台灣半導體業最貴專利之一，

於2019年3月22日，

「誕生」位在板橋的智慧財產法院。

當天法院宣布：

台廠家登精密

侵害美商英特格

第I317967號發明專利

「光罩載具及支撐光罩之方法」，

家登應給付英特格9.78億台幣。

2020年4月29日，被智慧財產局以「不具進步性」為由，宣告撤銷！

這個10億天價侵權案，

轟動了整個半導體界，

也帶出家登對台積電的重要性，

家登公告，將緊鄰台積14廠的1900坪南科廠，以遠超市價的6.6億元出售給台積。「台南科學園區一坪33萬（不含土地），是滿誇張的，」一位資深半導體業者說。

雖然家登解釋，是因為大客戶台積急需擴廠，才勉為其難讓出主要生產基地，多出估價師估價的4億元，算是遷廠補貼。

然而，這已是台積過去一年多來，以抵押廠房、專利等不同方式，第三次輸血，合計超過10億元的現金給這家台灣供應商。

台積電無論如何也要保住家登，

英特格專利被撤銷那天，家登老總邱銘乾在臉書貼文上，這樣寫著

「我以我們是護國神山重要的供應鏈為榮，」

2007年，

英特格想購併家登，

談到差不多時，

台積電跳出來說No，

就破局了，

2019，

英特格眼看家登獨霸EUV光罩載具，

不惜發動專利訴訟案，

大鯨魚要吃小蝦米，

台積電則全力護家登，

讓英特格差一點而功敗垂成，

台積電和家登，

兩家企業之願景，

簡直挷在一起，